H型金属孔阵列结构强透射折射率传感特性研究

• 作者: 刘利 刘小刚 徐俊林 李海鸥 李琦 杨宏艳 肖功利 蒋行国 陈永和 韦清臣
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: H型金属孔阵列 强透射现象 法布里-珀罗腔 表面等离子激元 传感特性
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 71-76
• 页数: 6页
• 分类号: TB383.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.01.015

摘要

提出了一种H型金属孔阵列结构,利用该结构形成的法布里-珀罗腔加强表面等离激元耦合作用,以期获得较好的强透射现象.采用有限时域差分法(FDTD)对该结构进行数值仿真,并详细研究了H型金属孔阵列中水平方向矩形孔和竖直方向的两相同对称矩形孔的长和宽等参数对强透射特性的影响;同时研究了基于该现象的折射率传感特性.结果表明:当水平方向矩形孔的长和宽分别为300和120 nm、竖直方向的两相同对称矩形孔的长和宽分别为60和10 nm时,强透射现象较好,并在此基础上获得了389 RIU/nm的折射率灵敏度.这些研究结果有望为高性能微纳等离子体传感器的设计提供理论参考.