金刚砂均匀性对多晶切片质量的影响分析

• 作者: 于丽君 崔国瑞 白杨丰
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶切片 金刚砂 分布均匀性
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体装置工艺与设备
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 2601字
• 语种: 中文

摘要

在金刚线多晶切片过程,控制好金刚线的质量对整个切片质量有着至关重要的作用.通过对金刚线表面金刚砂分布均匀性的研究,分析了在相同加工工艺技术条件下,金刚石表面金刚砂的分布均匀性对金刚线多晶切片质量的影响程度,为金刚线多晶切片生产质量控制和加工工艺技术提供一定的技术依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于丽君	中国电子科技集团公司第二研究所	5	1	1.0	1.0
2	白杨丰	中国电子科技集团公司第二研究所	5	5	2.0	2.0
3	崔国瑞	中国电子科技集团公司第二研究所	1	0	0.0	0.0