小型掠入射式近边X射线吸收谱仪的设计

• 作者: 王君 谢耀 金春水 陈晨曦阳
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 光谱仪 近边X射线吸收 掠入射 优化的装配方案 分辨率
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与测试
• 页码范围: 265-278
• 页数: 14页
• 分类号: O434.13
• 字数: 5862字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20181102.0265

摘要

近边X射线吸收精细结构(NEXAFS)谱包含了吸收原子的局域结构信息,由于其适用范围广,灵敏度高,已经成为研究物质结构的重要手段之一.为了研究有机物的碳1s NEXAFS谱,本文基于气体激光等离子体X射线光源,采用具有平场特性的凹面变线距光栅作为分光元件,面阵CCD作为光谱探测器,设计了一台小型掠入射式近边X射线吸收谱仪.通过优化光栅和CCD的装配方案,得到了入射角88.6°的装配参数.利用光线追迹法分析了谱仪的分辨率,该谱仪工作波段2~5 nm,在4.4 nm处分辨率可达666.通过分析各结构参量误差对谱线半高宽的影响发现,半高宽对入射角的误差最为敏感,优化的装配方案可以实现入射角的高精度调节.利用氮气等离子体光谱测试了光谱仪的性能,结果显示分辨率达到设计指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王君	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	24	91	4.0	9.0
2	金春水	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	56	202	9.0	11.0
3	谢耀	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	8	14	3.0	3.0
4	陈晨曦阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	1	2	1.0	1.0