脉冲无氰电镀在硅基RF-MEMS滤波器中的应用及优化

• 作者: 丁英涛 严阳阳 刘斌 卢威 王士伟
• 来源期刊: 北京理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS滤波器 脉冲电镀 亚硫酸金盐 无氰电镀
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 信息与控制
• 页码范围: 68-72
• 页数: 5页
• 分类号: TN603.5|TN629.1
• 字数: 3040字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15918/j.tbit1001-0645.2018.01.012

摘要

针对硅基RF-MEMS带通滤波器制备过程中金层电镀沉积工艺,基于亚硫酸金盐无氰电镀液,并结合脉冲电镀技术,通过对电流密度、占空比、正负脉冲时间比、脉冲频率、温度、搅拌速率等相关工艺参数进行优化组合,实现了所设计的硅基双层自屏蔽式RF-MEMS带通滤波器制备与测试,也为相关RF-MEMS器件制备提供了工艺指导.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严阳阳	北京理工大学信息与电子学院	6	10	2.0	3.0
2	刘斌	北京理工大学信息与电子学院	18	244	5.0	15.0
3	王士伟	北京理工大学信息与电子学院	5	8	2.0	2.0
4	卢威	北京理工大学信息与电子学院	3	5	2.0	2.0
5	丁英涛	北京理工大学信息与电子学院	17	55	5.0	6.0