晶圆传输过程中自动扫描算法的实现

• 作者: 刘洋 李燕玲
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆传输 自动扫描 卡槽 双片
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研究
• 页码范围: 46-49
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1090字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2018.02.011

摘要

针对晶圆自动传输过程中,片盒内卡槽中空片、双片现象,导致晶圆自动传输失败,给出了晶圆自动扫描、自动识别晶圆存放状态的算法,并通过具体实验数据分析,确定了该算法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘洋	中国电子科技集团公司第四十五研究所	42	50	4.0	5.0
2	李燕玲	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	10	2.0	3.0