电子工艺设备技术性能指标提出 方法及内容研究

• 作者: 卢丹丹 彭兴文
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 电子工艺设备 技术性能指标 提出方法及内容
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 9-12,33
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 4665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2018.02.003

摘要

针对用户提出的电子工艺设备技术性能指标内容不完整、不清晰、不准确,导致设备不能与工艺技术及使用环境要求完全匹配现象,对电子工艺设备技术性能指标提出方法及内容进行了研究,结合多年的实践经验,从正式提出电子工艺设备技术性能指标前的准备工作、技术性能指标构成要素、各要素的关键点、详细技术性能指标的表现形式等方面,给出了方法和技巧.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭兴文	中国电子科技集团公司第二十六研究所	5	4	1.0	2.0
2	卢丹丹	中国电子科技集团公司第二十六研究所	5	1	1.0	1.0