AOI检测设备的直线电机定位精度补偿研究

• 作者: 徐兴光 王瑞亭
• 来源期刊: 机械研究与应用
• 关键词: 直线电机 激光干涉仪 定位精度 误差补偿
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 检测与控制
• 页码范围: 145-147
• 页数: 3页
• 分类号: TH74
• 语种: 中文
• DOI: 10.16576/j.cnki.1007-4414.2018.05.048

摘要

直线电机凭借其优异的性能广泛应用在AOI检测设备上,其定位精度直接影响检测成功率.为了提高直线电机的定位精度,使用雷尼绍激光干涉仪对其进行测试.测试结果表明,直线电机的速度、加速度变化对直线电机定位精度影响不大.最后采用分段补偿的方法对直线电机进行误差补偿,提高了直线电机定位精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王瑞亭		1	1	1.0	1.0
2	徐兴光		1	1	1.0	1.0