一种改进的计算薄膜中红外光学常数的方法

• 作者: 李定 李钱陶 熊长新
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 中红外 水吸收 光学常数 K-K变换 离子束溅射
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 图像与信号处理
• 页码范围: 63-68
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文

摘要

阐述了包络法、色散模型拟合法、K-K变换法等常用的光学常数获取方法,并分析了每种方法的局限性.针对光学薄膜普遍在中红外波段存在水吸收,而导致其光学常数难以准确计算的特点,在以上几种方法的基础上,提出了一种改进的计算方法,并对该方法进行了推导.采用离子束溅射技术,制备了单层Ta2O5、Al2O3和Nb2O5薄膜,并用该方法计算了薄膜中红外波段的光学常数,结果显示,三种薄膜的消光系数均在2.7～4μm波段存在明显峰值,表明用该方法计算的光学常数,能清晰地反映薄膜水吸收的特性,较常规方法具有更高的精度.