CdTe薄膜的红外光学特性研究

• 作者: 张凤山 张素英 朱玲心 范滨
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 化学
• 关键词: 折射率 几何厚度 基板温度 非均匀性
• 年，卷（期）: 1998,（3）
• 页码范围: 192-196
• 页数: 5页
• 分类号: O65
• 字数: 2299字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.1998.03.007

摘要

用干涉法研究了热蒸发(PVD)方法制备的CdTe薄膜材料的红外光学特性.通过对不同基板温度和不同薄膜厚度CdTe薄膜样品的研究,确定了在薄膜沉积过程中基板温度和膜厚对CdTe薄膜红外光学特性的影响.发现CdTe薄膜具有一定的非均匀性,其折射率随着薄膜厚度的增加而减小.在120～200℃范围内,基板温度对CdTe薄膜红外光学特性的影响不大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张凤山	中国科学院上海技术物理研究所	36	251	8.0	14.0
2	张素英	中国科学院上海技术物理研究所	14	22	3.0	3.0
3	范滨	中国科学院上海技术物理研究所	5	49	3.0	5.0
4	朱玲心	中国科学院上海技术物理研究所	1	3	1.0	1.0