K波段BAW器件技术研究

• 作者: 李文豪 毛世平 江洪敏 郑泽渔
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 体声波(BAW) 延迟线 换能器 压电薄膜
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 页码范围: 313-315
• 页数: 3页
• 分类号: TN65
• 字数: 1971字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2018.03.001

摘要

通过优化高频换能器设计、极薄压电薄膜制备等技术,试制出了K 波段BAW延迟线样品.其工作中心频率为23.8 GHz,插入损耗为51.9 dB,带宽为1 122 MHz,延迟时间为299 ns,直通抑制为29 dB,3 次渡越抑制为40 dB.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑泽渔	中国电子科技集团公司第二十六研究所	6	3	1.0	1.0
2	李文豪	中国电子科技集团公司第二十六研究所	7	6	2.0	2.0
3	江洪敏	中国电子科技集团公司第二十六研究所	9	20	2.0	4.0
4	毛世平	中国电子科技集团公司第二十六研究所	6	17	3.0	4.0