PVT方法下AlN烧结工艺坩埚盖处氧杂质沉积行为研究

• 作者: 吴亮 王琦琨 雷丹 龚加玮
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: AlN烧结 氧杂质 沉积行为 晶体生长
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 365-368
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2018.03.013

摘要

AlN晶体中的氧杂质会严重影响晶体性能.因此,氧含量的控制一直是AlN晶体生长工艺中的热点和难点.为了减少AlN晶体中的氧杂质含量,通常在长晶之前使用粉料高温烧结工艺去除大部分的氧杂质.使用XRD及EGA等检测方法,对不同烧结工艺下AlN烧结过程中坩埚盖处的氧杂质沉积行为及其规律进行了对比研究.研究发现,使用低温(900～1 100℃)真空保温与1 500℃的氮气保护下保温相结合的方法可以极大促进氧杂质在坩埚盖处的前期沉积.在氮气保护环境下进一步提升烧结温度至2 000～2 100℃并经过一段时间的保温后,坩埚盖沉积物表面会出现黄褐色AlN结晶层,相应的检测结果表明此阶段坩埚盖处的氧杂质大量挥发,沉积过程已经基本结束.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴亮	上海大学材料科学与工程学院省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室	13	180	6.0	13.0
2	龚加玮	上海大学材料科学与工程学院省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室	1	0	0.0	0.0
3	王琦琨	上海大学材料科学与工程学院省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室	2	0	0.0	0.0
4	雷丹	上海大学材料科学与工程学院省部共建高品质特殊钢冶金与制备国家重点实验室上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室	2	0	0.0	0.0