含随机测量时延的批间控制器设计

• 作者: 潘天红 王海燕 谭斐 高占涛
• 来源期刊: 控制理论与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 批间控制 测量时延 EWMA算法 EM算法
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 所属期刊栏目: 论文与报告
• 页码范围: 531-538
• 页数: 8页
• 分类号: TP273
• 字数: 6137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7641/CTA.2017.70434

摘要

批间控制(RtR)是半导体晶圆生产过程控制的有效算法.然而,受测量手段与测量成本的限制,难以实时检测晶圆的品质数据,即:存在一定的测量时延,通常该测量时延是随机,时变的,且直接影响批间控制器的性能.为此,本文基于指数加权移动平均(EWMA)算法,提出一种含随机测量时延的扰动估计方法.在分析测量概率的基础上,建立包含测量时延概率的扰动估计表达式;并采用期望最大化(EM)算法估计该测量时延的概率;然后分析系统可能存在的静差项,给出相应的补偿算法;最后讨论系统的稳定性.仿真实例验证所提算法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘天红	江苏大学电气信息工程学院	70	723	15.0	24.0
2	王海燕	江苏大学电气信息工程学院	6	14	1.0	3.0
3	谭斐	江苏大学电气信息工程学院	7	19	3.0	4.0
4	高占涛	江苏大学电气信息工程学院	2	1	1.0	1.0