测量时延在线估计与批间控制器协同设计

• 作者: 万莉 潘天红 谭斐
• 来源期刊: 控制理论与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 批间控制 双指数加权滑动平均 时延 贝叶斯理论
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 短文
• 页码范围: 92-97
• 页数: 6页
• 分类号: TP273
• 字数: 3802字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7641/CTA.2016.50337

摘要

批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制程很难满足这一要求.为此,本文提出一种基于贝叶斯统计分析的测量时延估计算法.在分析晶圆质量与实测时延、估计时延、以及制程漂移之间的逻辑关系的基础上,并将晶圆的质量信息按加工时间顺序划分两个相邻的滚动时间窗口.基于贝叶斯后验概率函数,及时捕获后一个滚动时间窗口内过程输出发生漂移的概率,从而判断是否有测量时延发生,并估算该时延大小.在此基础上,给出批间控制器的测量时延补偿策略,及时调整制程的控制量,提高晶圆的加工品质.仿真结果验证所提出算法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘天红	江苏大学电气信息工程学院	70	723	15.0	24.0
2	谭斐	江苏大学电气信息工程学院	7	19	3.0	4.0
3	万莉	江苏大学电气信息工程学院	1	5	1.0	1.0