激光掺杂制作选择性发射极晶体硅PERC电池的工艺研究

• 作者: 庞恒强
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光掺杂 PERC电池 方块电阻 选择性发射极 外量子效率(EQE)
• 年，卷（期）: 2018,（z2）
• 所属期刊栏目: 能源材料
• 页码范围: 21-29
• 页数: 9页
• 分类号: TK615
• 字数: 8872字
• 语种: 中文

摘要

基于PERC (Passivated emitter and rear cell)电池的工艺基础,进行了激光掺杂制作选择性发射极晶体硅PERC电池的研究.以现有的PERC电池制造技术路线为基础,激光掺杂制作选择性发射极.研究了经激光掺杂后,选择性发射极对方块电阻、磷扩散结深及表面掺杂浓度、遮光比、激光能量密度、激光脉冲重叠率的影响.利用四探针测量仪、电化学电容-电压法(ECV)、扫描电子显微镜(SEM)、WT2000(μPCD-microwave photo conductivity decay)、二次离子质谱测量仪(SIMS)、WCT 120测试仪、光致发光光谱仪(PL)、光谱响应(EQE)、二次元测长仪(Two dimensional length measuring instrument)对试样依次进行了表征.研究结果表明:激光掺杂后的PERC电池在短波波段具有更高的量子效率.方块电阻主要影响了PERC电池的表面复合速率.而PERC电池的开路电压主要取决于方块电阻、激光能量密度、激光脉冲重叠率.短路电流密度主要取决于方块电阻、磷扩散结深及表面掺杂浓度、遮光比、激光能量密度、激光脉冲重叠率.