SE+PERC太阳电池扩散工艺的研究

• 作者: 刘苗 张建军 张志敏 张进臣 靳迎松
• 来源期刊: 太阳能
• 学科: 工学
• 关键词: PERC太阳电池 SE 激光掺杂 磷掺杂浓度 PSG层 欧姆接触
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 技术应用
• 页码范围: 52-55
• 页数: 4页
• 分类号: TK514
• 字数: 3064字
• 语种: 中文

摘要

近年来晶体硅太阳电池PERC技术已经全面推广,在此基础上的选择性发射极(selective emiter,SE)激光掺杂技术也逐渐趋于成熟,已实现工业化量产,且以产线升级简单、兼容性好等优势逐渐成为新一代主流产品.论述了一种匹配SE+PERC技术的新型太阳电池扩散工艺,即通过改善磷硅玻璃(PSG)层的厚度、表面掺杂浓度来降低激光掺杂过程对硅片绒面的损伤,从而减少开路电压的损失;同时重掺区得到更高的掺杂浓度,可以明显改善欧姆接触,使SE激光掺杂技术的优势体现得更明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘苗		11	4	1.0	1.0
2	张进臣		4	3	1.0	1.0
3	张建军		2	0	0.0	0.0
4	张志敏		2	0	0.0	0.0
5	靳迎松		3	0	0.0	0.0