对国产半导体设备厂商发展的建议

• 作者: 叶甜春
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 中国集成电路 半导体设备 自主发展
• 年，卷（期）: 2018,（4）
• 页码范围: 1-2
• 页数: 2页
• 分类号: TN40|F426.63
• 字数: 2076字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2018.04.001

摘要

在第五届中国半导体设备市场年会上,国家科技重大专项(02)专家组组长叶甜春先生指出,十九大的召开标志着我们迎来了新时代,将开展新的征程.未来30年是信息化时代,中国要发展起来,必须要解决芯片的问题.芯片业本质上是制造产业,是工艺的支撑.工艺的核心是设备和材料,设备和材料一直被卡脖子,很危险.我国装备和材料必须实现自主发展,建立自己的工业体系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶甜春	中国科学院微电子研究所	200	911	14.0	18.0