电子工业用9N气体纯化技术的研究与应用

• 作者: 徐长江
• 来源期刊: 化工设计通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 电子工业 9N气体 纯化技术
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 新材料与新技术
• 页码范围: 78
• 页数: 1页
• 分类号: TQ028.15
• 字数: 1665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-6490.2018.06.073

摘要

气体纯化作为电子工业气体制造过程中的关键技术内容,完善纯化技术研究具有十分重要的作用,更是促进我国工业制造业发展的重要技术之一.结合电子行业中对工业气体的实际需要,探究气体纯化技术存在的困难,分析氮气、氢气运用纯化技术制造的相关内容,希望能够对未来技术发展提供借鉴和帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐长江		4	7	1.0	2.0