微机电火工品薄膜结构换能元

• 作者: 任炜 张彬 李慧 褚恩义 赵玉龙
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 薄膜结构 换能元 薄膜厚度
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 页码范围: 2319-2325
• 页数: 7页
• 分类号: TB853.29
• 字数: 2862字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20182609.2319

摘要

为了满足MEMS火工品的小型化、集成化和低能发火等要求,本文基于MEMS技术,设计了一种平面"蛇"形结构的薄膜换能元,采用磁控溅射等M EM S薄膜制作技术,完成了不同薄膜桥区电阻和基底材料薄膜换能元样品的制备,采用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM),低电阻测试仪、红外热像仪等设备,完成了不同换能元样品结构(薄膜桥区线宽、长度及厚度等)及性能(电阻、电热响应等)参数的测试与表征.通过分析研究,获得了薄膜桥区电阻材料、基底材料、薄膜厚度以及桥区结构形状对换能元性能的影响规律,优选确定以金属Pt和7740玻璃作为换能元电阻及基底材料,发火性能达5 V/33μF,满足M EM S火工品的低能化要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵玉龙	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	81	540	14.0	19.0
2	褚恩义	陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室	24	82	5.0	7.0
3	任炜	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	12	36	3.0	5.0
7	李慧	陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室	8	25	3.0	4.0
8	张彬	陕西应用物理化学研究所应用物理化学国家级重点实验室	2	14	2.0	2.0