温度处理对聚酰亚胺薄膜性能的影响研究

• 作者: 刘军山 单晗 王超 舒振
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺 温度处理 弹性模量 硬度 抗溶剂性能
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 26-28,50
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2941字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2018.11.008

摘要

将PW-1500S型、FB-5410型和ZKPI-520型三种不同的聚酰亚胺前驱体制备成聚酰亚胺薄膜,研究温度处理对不同型号聚酰亚胺薄膜的弹性模量、硬度、抗溶剂性能以及抗氢氟酸缓冲液腐蚀性能的影响.实验表明:3种型号的聚酰亚胺薄膜经温度处理后,其弹性模量、硬度、抗溶剂性能和抗氢氟酸缓冲液腐蚀性能没有明显变化.此外,溅射在PW-1500S型和ZKPI-520型聚酰亚胺薄膜上的金薄膜,经温度处理后薄膜表面没有出现缺陷;而溅射在FB-5410型聚酰亚胺薄膜上的金薄膜,经350℃保温30 min的温度处理后表面出现了微小缺陷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘军山	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	43	225	8.0	14.0
2	王超	中国工程物理研究院电子工程研究所	35	184	7.0	12.0
3	单晗	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	3	2	1.0	1.0
4	舒振	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	1	2	1.0	1.0