分布式MEMS移相器桥高度与相移量的机电集成模型及应用

• 作者: 应康 张轶群 李飞 殷蕾 王从思 王猛
• 来源期刊: 电子与信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 相控阵天线 分布式MEMS移相器 结构变形 机电耦合
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 1484-1491
• 页数: 8页
• 分类号: TN821|TP212
• 字数: 3980字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11999/JEIT170762

摘要

移相器是控制相控阵天线空间波束捷变的"方向盘",其性能的优良决定着相控阵天线性能的高低.微机电系统(MEMS)移相器优势明显,但由于相控阵天线工作环境复杂,环境载荷会导致MEMS移相器结构变形,进而直接降低整个相控阵天线的性能.为此,该文研究MEMS移相器关键结构参数和电性能之间的耦合关系,将复杂环境要素对物理结构的影响传递到结构参数和电参数上,推导出分布式MEMS移相器的机电集成模型,并利用集成模型对变形MEMS移相器进行电性能快速评估和结构公差计算.仿真结果说明了集成模型的有效性和工程应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王从思	西安电子科技大学电子装备结构设计教育部重点实验室	31	499	14.0	21.0
2	王猛		7	5	2.0	2.0
3	李飞	西安电子科技大学电子装备结构设计教育部重点实验室	13	112	6.0	10.0
4	殷蕾		1	2	1.0	1.0
5	应康	西安电子科技大学电子装备结构设计教育部重点实验室	1	2	1.0	1.0
6	张轶群		1	2	1.0	1.0