交直流隔离的分布式MEMS移相器设计

• 作者: 柏鹭 贾小慧 郑英彬 高杨
• 来源期刊: 信息与电子工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 分布式移相器 工艺 直流偏置
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 其他
• 页码范围: 384-387
• 分类号: TN623|TN304
• 字数: 1805字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-2892.2011.03.028

摘要

设计了一种五位分布式微电子机械系统(MEMS)移相器,通过分析对比传统分布式MEMS移相器加载直流偏置的两种方式,提出了一种新的直流偏置的加载方式,能解决传统方式带来的交直流干扰和引线繁杂问题,同时工艺容易实现.采用ADS软件对移相器进行级联仿真,优化了微波性能参数,仿真得出移相器在35 GHz时移相精确度小于3°,移相器的插入损耗小于0.5dB,回波损耗大于23 dB.给出了五位分布式MEMS移相器的工艺流程,同时验证了所设计加载直流偏置方式工艺简单的优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	郑英彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	22	115	7.0	9.0
3	柏鹭	西南科技大学信息工程学院	6	25	3.0	4.0
4	贾小慧	西南科技大学信息工程学院	8	34	4.0	5.0