基于分布式射频MEMS移相器电容开关的分析与设计

• 作者: 吴群 宋明歆 殷景华 贺训军 金博识
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分布式移相器 电容开关 驱动电压 响应时间 释放时间 振动模式
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: RF微纳器件与技术
• 页码范围: 1881-1884
• 页数: 4页
• 分类号: TN62
• 字数: 2330字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.152

摘要

通过分析MEMS电容开关的工作原理,设计出一种适合分布式射频MEMS移相器电路的新型电容开关.采用Intel lisuiteTM软件优化电容开关的驱动电压、响应时间、释放时间和机械振动模式.结果表明,开关驱动电压为2.5 V、响应时间小于30μs,释放时间大于60 μs和所有振动模式固有频率都大于15 KHz.与普通开关结构比较,该新型电容开关结构具有优越射频机电性能和响应时间,同时也对电容开关的制备工艺进行分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷景华	哈尔滨理工大学应用科学学院	74	301	9.0	12.0
2	宋明歆	哈尔滨理工大学应用科学学院	19	51	4.0	6.0
3	吴群	哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院	77	471	10.0	16.0
4	金博识	哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院	7	43	4.0	6.0
5	贺训军	哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院	16	40	4.0	5.0