放电等离子体烧结下Nb掺杂量对TiO2陶瓷靶材性能的影响

• 作者: 刘欢 杨海涛 沈金城 王晨 董磊 赵江涛
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷靶材 掺杂量 SPS烧结 TiO2
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 所属期刊栏目: 试验与技术
• 页码范围: 2991-2994,3001
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 1342字
• 语种: 中文

摘要

采用放电等离子体(SPS)烧结制备了Nb掺杂TiO2(NTO)陶瓷靶材,运用X射线衍射分析、扫描电子显微镜、四探针测试仪等对NTO陶瓷靶材样品的各性能进行表征.研究了在1100℃下不同Nb掺杂量对NTO陶瓷靶材相对密度、抗弯强度、电阻率、表面形貌与微观结构等性能的影响.实验结果表明:不同Nb掺杂量对NTO陶瓷靶材的性能有显著的影响,在1100℃烧结的NTO陶瓷靶材样品,随着Nb掺杂量的升高,相对密度、抗弯强度和电阻率先增大后逐渐降低,在5wt％掺杂量处均达到了最大值,且此时结晶完好、晶粒大小分布均匀.综合而言,5wt％Nb掺杂量的NTO陶瓷靶材的各项性能表现最优,其电阻率为13.23 mΩ·cm,抗弯强度为139.1 MPa,相对密度达到99.9％.