TiO2掺杂量对TZO陶瓷靶材性能的影响

• 作者: 刘天成
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: TZO TiO2掺杂量 微观形貌 相对密度 抗弯强度 电阻率
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 14-16,20
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 字数: 2961字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2013.10.004

摘要

用常压烧结方法制备了掺钛氧化锌(TZO)陶瓷靶材,研究了TiO2掺杂量对TZO靶材的微观形貌、相对密度、抗弯强度和电阻率的影响.结果表明:添加适量TiO2利于TZO靶材的致密化,掺杂过量TiO2会使TZO陶瓷中析出Zn2TiO4;随TiO2掺杂量增大,靶材的相对密度和抗弯强度先增大后减小,电阻率则先减小后增大.当w(TiO2)为1.5％时,靶材相对密度获得最大值98.32％;当w(TiO2)为1.0％时,所制靶材抗弯强度最大(98.39 MPa),电阻率最小(2.586×10-3Ω·cm),且其相对密度为98％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘天成	湛江师范学院基础教育学院物理系	2	8	2.0	2.0