基于等效积分的去除函数误差修正能力分析

• 作者: 邓文辉 郑楠 陈贤华
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计算机控制光学表面成形 超高精确度光学元件制造 去除函数 误差修正能力 频谱变换
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 信号与信息处理、计算机与控制
• 页码范围: 877-884
• 页数: 8页
• 分类号: TN911.7
• 字数: 2511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201905.0877

摘要

针对计算机光学表面成形技术的去除理论中关于材料去除量及去除函数误差修正能力问题,基于等效去除积分法,对高斯型、三角形、梯形、脉冲随机复合型等多种不同形态的去除函数修正能力进行研究,通过频域分析去除函数的误差修正能力,获得调制参数与去除函数修正能力的关联曲线,建立基于等效去除积分法的去除函数截止修正能力评价模型,为去除函数误差修正的调制及去除函数修正能力评价提供依据,从而在大口径光学元件的超高精确度加工中,提高超光滑光学元件表面的质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈贤华	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	14	83	5.0	9.0
2	邓文辉	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	8	2.0	2.0
3	郑楠	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	3	3	1.0	1.0