半导体光生电荷分离及迁移原位X射线光电子能谱仪表征分析系统的研制

• 作者: 刘佳梅 张亚军 焦正波 牛建中 黄晓卷
• 来源期刊: 分析测试技术与仪器
• 学科: 化学
• 关键词: X射线光电子能谱仪 半导体 光生电荷
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 大型仪器功能开发
• 页码范围: 98-100
• 页数: 3页
• 分类号: O657.62
• 字数: 1329字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16495/j.1006-3757.2019.02.006

摘要

在确保X射线光电子能谱仪(XPS)原有超高真空系统及性能指标的基础上,设计并研制出一套适用于半导体光生电荷分离及迁移的原位XPS分析测试系统.将XPS与半导体光照体系相结合,实现了外载激发光源与X射线同步照射于半导体表面,观测并记录样品中特征元素结合能峰位数据.通过对比光照前后结合能峰位变化,判定光致激发半导体材料光生电荷分离及迁移的方向及确定其量化数据.