大量程MEMS加速度计在高温环境下的多元相依可靠性评估

• 作者: 于丽霞 何程 王威 秦丽 秦立君
• 来源期刊: 测试科学与仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 大量程MEMS加速度计 零偏 标度因数 多元相依可靠性评估 加速退化试验
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 9-15
• 页数: 7页
• 分类号: TH824+.4
• 字数: 554字
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8042.2019.01.002

摘要

以往在进行微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计的可靠性评估时,通常只考虑一种性能参数,导致所得到的可靠性评估结果比较片面.针对大量程MEMS加速度计在高温环境下的失效情况,设计了相应的加速退化试验,根据零偏和标度因数两种性能参数的退化情况对大量程MEMS加速度计进行了多元相依可靠性评估.结果表明,对大量程MEMS加速度计进行多元相依可靠性评估可以提高评估精度,得到更为准确的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦丽	中北大学仪器与电子学院	81	421	11.0	15.0
2	于丽霞	中北大学信息与通信工程学院	24	206	6.0	14.0
3	秦立君	中北大学仪器与电子学院	6	6	2.0	2.0
4	王威	中北大学仪器与电子学院	7	6	2.0	2.0
5	何程	中北大学仪器与电子学院	6	6	2.0	2.0