IPA干燥过程中影响颗粒因素的研究

• 作者: 孙文良 盛明俊 葛俊山 蔡万和
• 来源期刊: 中国集成电路
• 关键词: IPA 异丙醇 颗粒 Marangnoi
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺
• 页码范围: 44-47,92
• 页数: 5页
• 字数: 2519字
• 语种: 中文

摘要

本文是采用Marangoni效应来实现抛光硅片的干燥过程遇到的颗粒问题,并对其影响因素进行研究.研究过程中,可以在IPA携带N2压力为15PSI,DI水慢排速率为1mm/s,慢排完毕后IPA喷雾持续时间为180S,热N2压力为10PSI的情况下,得到的干燥效果最佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙文良		1	0	0.0	0.0
2	蔡万和		1	0	0.0	0.0
3	盛明俊		1	0	0.0	0.0
4	葛俊山		1	0	0.0	0.0