三腔滑片式真空泵的几何理论与性能研究

• 作者: 李宏鑫 李雪琴 沙润东 王君 陈志凯
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 三腔滑片式真空泵 正弦螺旋线 工作性能 排气量 研究试验
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 999-1004
• 页数: 6页
• 分类号: TH36
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.11.11

摘要

滑片式真空泵的排气量偏小、抽气速率低限制了其应用场合.本文利用正弦螺旋线提出了一种新型的三腔滑片式真空泵,并对其工作性能进行了理论与试验研究等几何尺寸下,三腔滑片式真空泵相比双腔简谐结构形式排气量可提高37％;三腔滑片式真空泵的抽速可达l L/s,极限压强能够达到13 kPa.三腔滑片式真空泵的抽速更快,缩短了滑片式真空泵达到指定压强的抽气时间,很好地验证了理论模型.对于开发新产品具有重要的参考价值.