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真空科学与技术学报期刊
出版文献量（篇）
4084
总下载数（次）
3
总被引数（次）
19905

真空科学与技术学报

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
曾用名： 真空科学与技术

CACSCDJSTCSTPCD

影响因子 0.3586
本刊是全国中文核心期刊，长期被EI、CA、SA等国际蓍名检索系统收录，已全文上网。本刊通过中国图书贸易总公司代理向国外发行。目前在美国、英国、德国、荷兰及我国的香港与台湾地区均有订阅，有一定的影响力。在国内各高等院校科学院所涉及到真空科学与技术论文都大多数向本刊投稿，已成为国内外关学者发表高水平科研成果的主要载体。
主办单位：
中国真空学会
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
出版周期：
月刊
邮编：
100022
地址：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
出版文献量（篇）
4084
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3
总被引数（次）
19905
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  • 1. 一种下限为5×10-16Pa·m3/s的高精度超灵敏度检漏装置
    作者： 卢耀文 延峰 李得天 杨传森 查良镇 王欢 董云宁 闫睿 齐京
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  1-5
    摘要： 为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10-16 Pa·m3/s的高精度超灵敏度检漏仪.当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检...
  • 2. 涡轮分子泵入口结构改进的计算研究
    作者： 孙坤 张世伟 张志军 李海涛 赵凡 韩进
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  6-11
    摘要： 针对涡轮分子泵的入口管道束流效应和涡轮端盖反射效应对传输几率的不利影响、以及大口径涡轮分子泵与小型仪器相连接的难题,本文提出分子泵入口结构的改进方案:将涡轮转子的平板端盖改成锥形反射屏结构,...
  • 3. 海底真空管道合理支撑间距测算模型与数值分析
    作者： 张耀平
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  12-23
    摘要： 海底真空管道(SVT)是一种适合穿越海峡、海湾的新型交通方式,其特征是在海床上每隔一定距离修建管墩,其上铺设管道,管道内抽成真空,供车辆高速行驶.由于海水对管道具有浮力作用,有效抵消管道重力...
  • 4. MEMS型电容薄膜真空计的关键技术研究进展
    作者： 孙雯君 成永军 李刚 李得天 王呈祥 韩晓东
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  24-33
    摘要： 近二十年以来,仪器的小型化发展以及微机电系统(MEMS)技术工艺的发展带动了电容薄膜真空计的发展.其中,MEMS型电容薄膜真空计能将电路和敏感元件集成在同一芯片上,具有体积小、能耗低的优点,...
  • 5. 基于参数化设计方法的空间环境模拟器集成设计
    作者： 丁文静 单巍巍 吕世增 方嬿 韩潇
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  34-38
    摘要： 目前常采用的空间环境模拟器设计模式是不同的分系统利用各自的三维造型软件构建产品的三维几何模型,然后导出到AutoCAD中进行二维的图纸表达.此种设计模式不利于开展协同设计,同时在不同设计软件...
  • 6. 泵用低周向泄漏圆弧转子的新型线研究
    作者： 冉光泽 孙付春 李玉龙
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  39-45
    摘要： 为实现罗茨泵圆弧转子的低周向泄漏、无闭气现象、造型参数化和尺寸最优化.从7个方面构建出第1、2两类新型线的参数化方程;后以节圆半径和周向弧半角为设计变量,转子副所占方体空间的轻量化为目标函数...
  • 7. 微阴极电弧推力器放电特性研究
    作者： 周思齐 夏广庆 王鹏 耿金越
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  46-52
    摘要： 相对于大型卫星,微纳卫星具有模块化、发射灵活、可编队飞行等特点.微阴极电弧推力器(μ-CAT)是一种适用于微纳卫星的推进装置,具有体积小、质量轻、功耗小等特点.本文分析了μ-CAT的工作原理...
  • 8. 基于电子注嵌入光栅的0.55THz返波振荡器的结构设计与注波互作用的分析
    作者： 刘文鑫 叶青青 张连正
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  53-57
    摘要： 根据矩形栅慢波结构的色散公式初步确定各结构参数,并分析了各结构参数的变化对色散曲线的影响,用CST微波工作室仿真,计算并对比分析嵌入与未嵌入圆形电子注的高频特性的变化趋势,得出前者对应的色散...
  • 9. 金属元素Co、Fe、Cu、Ti对孕镶金刚石基底CVD金刚石涂层膜基界面结合强度的影响
    作者： 何嘉诚 王俊鹏 甘熠华 简小刚
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  58-64
    摘要： 采用基于密度泛函理论的第一性原理理论法,研究了金属元素Co、Fe、Cu、Ti对孕镶金刚石基底化学气相沉积金刚石涂层膜基界面结合强度的影响及其作用机理.界面结合能、电荷密度和化学键重叠布居数的...
  • 10. 应用于堆叠纳米线MOS器件的STI工艺优化研究
    作者： 吴次南 姚佳欣 屠海令 张青竹 徐忍忍 殷华湘 熊文娟 白国斌 顾杰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  65-70
    摘要： 在传统FinFET集成工艺上,通过GeSi/Si叠层量子阱结构外延生长再形成堆叠纳米线MOS场效应晶体管的方案,是实现5 nm及其以下CMOS集成电路工艺技术最具可能的器件方案.由于Ge元素...
  • 11. 钾掺杂对柔性CZTSSe薄膜及其太阳电池性能的影响
    作者： 商慧荣 孙孪鸿 李玉芳 李金泽 沈鸿烈
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  71-77
    摘要： 本文采用磁控溅射加后续硒化的方法制备柔性CZTSSe薄膜,通过向硒化气氛中引入钾元素实现了钾的有效掺杂.研究了钾掺杂量对柔性CZTSSe薄膜和电池性能的影响.X射线衍射和Raman结果表明适...
  • 12. 直热式ITO靶材热压设备的设计
    作者： 刘舒 步怀立 陈正伟 高光伟
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  78-81
    摘要： 随着平面显示技术的发展,氧化铟锡(ITO)靶材的需求大增,然而国内生产的靶材多为低密度的中低端产品,ITO靶材的制备目前多采用的是热压烧结的形式,实现ITO靶材的制备突破研制合适的装备及工艺...
  • 13. 基于有限元的固液两相射流冲刷磨损率数值研究
    作者： 原慧军 张利军
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  82-85
    摘要： 利用数值模拟方法研究了不锈钢受到固液两相射流冲蚀作用后发生的磨损过程,对不同粒径的试样进行了磨损率测试.结果表明:流体在喷嘴出口部位的速度约等于1O m/s,当流体与面板发生撞击后便会流向下...
  • 14. 隔离开关壳体有限元分析及力学性能测试
    作者： 孙明道 张兵 曲鹏 王佳锐
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  86-91
    摘要： 为了验证金属绝缘开关壳体的力学性能,通过ANSYS有限元分析法和应变电测法分析了壳体在标准压力(0.95Mpa)及以下应力分布情况,并对最大应力点进行应力线性分析.最大应力点位于拔口右侧相贯...
  • 15. 低温供水地暖对空间热传递的计算分析
    作者： 李晓敏 王河 王立军 高峰
    刊名： 真空科学与技术学报
    发表期刊： 2019年1期
    页码:  92-96
    摘要： 为研究地暖对空间温度分布和热流流动的影响,应用ANSYS软件对不同铺设方式的地暖进行计算分析.通过对不同铺设方式条件下室内温度分布的对比,得出了不同铺设方式所适用空间区域的大小;通过对不同高...

真空科学与技术学报基本信息

刊名 真空科学与技术学报 主编 吴锦雷
曾用名 真空科学与技术
主办单位 中国真空学会  主管单位 中国科学技术协会
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1672-7126 CN 11-5177/TB
邮编 100022 电子邮箱 vst@chinesevacuum.com
电话 010-58206280 网址
地址 北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室

真空科学与技术学报统计分析

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