用于晶体生长监测的变焦显微物镜设计

• 作者: 张家铭 张润泽 李晨晓 李阳 陈宇
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 晶体生长 超长工作距离 变焦显微镜 Zemax
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 页码范围: 13-16,22
• 页数: 5页
• 分类号: TB811
• 字数: 2604字
• 语种: 中文

摘要

在应用传统提拉法生长晶体的过程中,经常需要人为实时观察晶体直径的生长变化,从而控制生长温度达到晶体等径生长的目的.根据企业提出的晶体生长监测需求,设计了一款超长工作距变焦显微物镜,实现晶体生长的自动监控.晶体直径的监测范围为0～100 mm,系统采用机械变焦方式,工作波段为3～5 μm,变焦范围为19～90 mm,放大倍率为3～12,变倍比为4倍.系统采用的红外探测器型号为Onca-MWIR-InSb-640,其像元大小为15 μm×15 μm.利用Zemax进行光学系统设计优化,在截止频率34 lp/mm处,各组态像质优良,中心视场和0.707视场处MTF曲线均接近衍射极限,点列图的RMS半径也均小于艾里斑半径,系统各项指标均满足设计指标要求,可以实现对晶体生长过程的高精度监控.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈宇	长春理工大学光电工程学院	65	185	8.0	11.0
2	张润泽	长春理工大学光电工程学院	4	4	1.0	2.0
3	张家铭	长春理工大学光电工程学院	5	0	0.0	0.0
4	李阳	长春理工大学光电工程学院	10	7	1.0	2.0
5	李晨晓	长春理工大学光电工程学院	1	0	0.0	0.0