BST薄膜的制备工艺与太赫兹介电特性测试

• 作者: 冯明德 娄菁 王军 董博文 马华
• 来源期刊: 电子工程学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 钛酸锶钡薄膜 太赫兹 介电特性 工艺参数 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 电子、通信与自动控制
• 页码范围: 21-26
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 字数: 3695字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-3616.2019.03.004

摘要

经过多组对比实验,通过XRD、AFM、SEM等表征手段优化了BST薄膜的制备工艺.结合BST基薄膜器件的电极制备、微结构加工制备了太赫兹频段电可调的频率选择表面.通过太赫兹测试系统验证了在太赫兹频段BST薄膜的可调性,在电场作用下通带频率可以从0.85 THz调节到0.87 THz,结合仿真研究给出了确定铁电薄膜在THz频段介电参数的方法.相关研究可用于精确测定铁电薄膜在THz频段的介电特性,为铁电薄膜功能器件的研制提供精确的介电参数测试方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王军	空军工程大学基础部	16	16	2.0	3.0
2	马华	空军工程大学基础部	36	184	9.0	11.0
3	冯明德	空军工程大学基础部	19	37	4.0	5.0
4	董博文	空军工程大学基础部	5	0	0.0	0.0
5	娄菁	空军工程大学基础部	6	0	0.0	0.0