一种高质量石墨烯/氮化硼异质结制备工艺研究

• 作者: 李仰军 李孟委 王俊强 赵世亮
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯 氮化硼 异质结 工艺优化
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 电子与电子信息
• 页码范围: 186-192
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 字数: 3509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2019.02.016

摘要

针对目前石墨烯器件的纳米薄膜由于转移工艺导致质量及一致性差的现状,本文基于常规的RCA清洗工艺对纳米薄膜湿法转移工艺进行了改进,完成了高质量石墨烯/氮化硼(BN)异质结的制备.本工艺在原有转移工艺中加入了清洗工艺,利用稀盐酸溶液和稀氨水分别去除薄膜转移过程中产生的重金属污染物和有机污染物,并通过稀HF溶液对衬底表面进行了预处理,提高纳米薄膜的平整度、减少褶皱,进一步提高石墨烯/BN异质结的质量.通过对常规工艺及改进转移工艺制备的异质结SEM扫描结果、电学性能及拉曼光谱的对比,改进后的转移工艺制备完成的异质结褶皱与污染物明显减少,电阻增大,2D/G峰强度比提升至3.23,异质结的质量有明显提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李仰军	中北大学微系统集成研究中心	57	294	11.0	15.0
5	李孟委	中北大学微系统集成研究中心	30	75	5.0	7.0
9	王俊强	中北大学微系统集成研究中心	2	0	0.0	0.0
13	赵世亮	中北大学微系统集成研究中心	3	3	1.0	1.0