TFT-LCD摩擦工艺过程中静电放电不良分析及改善设计

• 作者: 宋红花 张熠点 李宁 李恒滨 杜化鲲 王勇辉 王国磊 王景棚 陈鹏 马力
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管液晶显示器 静电放电 静电保护
• 年，卷（期）: 2019,（8）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 733-738
• 页数: 6页
• 分类号: TN141.9
• 字数: 2481字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20193408.0733

摘要

本文对摩擦工艺过程中的线不良进行了分析,通过切割验证 、设计方案变更验证了降低ESD风险的两个方向.通过实际的验证结果分析发现,减小填充图形的面积或者将填充图形连接到公共电极,同时搭配填充图形到信号线的距离增加到大于60μm,可以大大降低静电放电发生的概率,不良率由20％ 降低到0％.结果充分表明,此设计方案可应用于实际产品设计中以降低摩擦工艺过程中的ESD风险.