TFT-LCD摩擦工艺ESD研究与改善

• 作者: 周保全 左爱翠 江桥 滕玲 郭红光 陈维诚 韩基(桐) 高荣荣
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 摩擦工艺 ESD 大块悬空金属 湿度 防静电液 摩擦布寿命
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 48-52
• 页数: 5页
• 分类号: TN141.9
• 字数: 2029字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20203501.0048

摘要

摩擦工艺ESD(Electrostatic Discharge)是TFT-LCD制程中较为常见的一种不良,以317.5 mm(12.5 in)产品为例,摩擦工艺过程中ESD发生率20％,对产品良率影响较大.文章结合实际生产对摩擦工艺ESD的原因进行理论分析与实验验证,得出摩擦工艺发生ESD的原因为TFT基板上面有悬空的大块金属,在摩擦过程中电荷积累过多容易发生ESD,ESD进一步烧毁旁边金属电路导致面板点亮时画面异常.生产过程中通过工艺管控和产品设计两方面优化改善,工艺方面通过增加湿度,涂布防静电液以及管控摩擦布寿命进行改善,设计方面通过变更悬空的大块金属为小块金属,通过工艺设计优化最终生产过程中摩擦工艺ESD发生率由20％下降到0％,大大提高了产品品质,降低了生产成本.