平板式PECVD设备工艺腔加热系统的设计

• 作者: 李健志 杨彬 禹庆荣 苏卫中 谢利华 陈特超
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳能电池 电阻加热 电功率 温度 均匀性
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 光伏制造工艺与设备
• 页码范围: 28-30,54
• 页数: 4页
• 分类号: TN948.43
• 字数: 1771字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2019.02.008

摘要

根据太阳能PERC电池关键工艺设备——平板式PECVD设备的整体要求,介绍了其中工艺腔的加热系统设计,对加热功率进行了计算,控制方式进行了分析,通过优化设计,降低了设备的能耗,提高了温度均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈特超	中国电子科技集团公司第四十八研究所	21	38	3.0	5.0
2	禹庆荣	中国电子科技集团公司第四十八研究所	12	43	4.0	6.0
3	谢利华	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	5	2.0	2.0
4	李健志	中国电子科技集团公司第四十八研究所	5	8	1.0	2.0
5	杨彬	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	6	2.0	2.0
6	苏卫中	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	0	0.0	0.0