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摘要:
为提高CMP的抛光效果,配制了一种混合磨粒CMP抛光液,用于对不锈钢的抛光.实验结果表明:硅溶胶和铝溶胶配比为4:1,使用十二烷基硫酸钠为阴离子表面活性剂,调节pH值为2.5配制的抛光液的分散稳定性较好;采用上述抛光液对304号不锈钢进行抛光,其粗糙度和光泽度得到明显提高.
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关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 混合磨粒CMP抛光液的制备及抛光效果研究
来源期刊 河南化工 学科 工学
关键词 化学机械抛光 CMP抛光液 混合磨粒 表面粗糙度 光泽度
年,卷(期) 2019,(5) 所属期刊栏目 开发与研究
研究方向 页码范围 19-21
页数 3页 分类号 TQ423
字数 2381字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 刘军 河南工业大学材料科学与工程学院 9 6 2.0 2.0
2 贺祥 河南工业大学材料科学与工程学院 1 1 1.0 1.0
3 高爽 河南工业大学材料科学与工程学院 1 1 1.0 1.0
4 耿伟纬 河南工业大学材料科学与工程学院 1 1 1.0 1.0
5 蔡金凤 河南工业大学材料科学与工程学院 1 1 1.0 1.0
6 付慧坛 河南工业大学材料科学与工程学院 6 16 2.0 4.0
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河南化工
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1003-3467
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1975
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