利用复合磨粒抛光液的硅片化学机械抛光

• 作者: 彭伟 许雪峰 马冰迅 黄亦申
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械抛光 硅片 复合磨粒 聚合物粒子
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1587-1593
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 4844字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2009.07.014

摘要

为了提高硅片的抛光速率,利用复合磨粒抛光液对硅片进行化学机械抛光.分析了SiO2磨粒与聚苯乙烯粒子在溶液中的ζ电位及粒子间的相互作用机制,观察到SiO2磨粒吸附在聚苯乙烯及某种氨基树脂粒子表面的现象.通过向单一磨粒抛光液中加入聚合物粒子的方法获得了复合磨粒抛光液.对硅片传统化学机械抛光与利用复合磨粒抛光液的化学机械抛光进行了抛光性能研究,提出了利用复合磨粒抛光液的化学机械抛光技术的材料去除机理,并分析了抛光工艺参数对抛光速率的影响.实验结果显示,利用单一SiO2磨料抛光液对硅片进行抛光的抛光速率为180 nm/min;利用SiO2磨料与聚苯乙烯粒子或某氨基树脂粒子形成的复合磨粒抛光液对硅片进行抛光的抛光速率分别为273 nm/min和324 nm/min.结果表明,利用复合磨粒抛光液对硅片进行抛光提高了抛光速率,并可获得Ra为0.2 nm的光滑表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭伟	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	75	605	12.0	20.0
2	黄亦申	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	7	43	3.0	6.0
3	许雪峰	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	26	247	8.0	15.0
4	马冰迅	浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室	3	34	3.0	3.0