用碱性抛光液化学机械抛光304不锈钢片研究

• 作者: 李庆 秦洪权 苏建修 陈佳鹏 陈绍坤
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 304 不锈钢 碱性抛光液 pH 值 氧化剂 化学机械抛光 材料去除率
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 页码范围: 6-9,23
• 页数: 5页
• 分类号: TG732|TH162|TN27
• 字数: 3121字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2016.2.0002

摘要

为提高化学机械抛光的加工效果,我们研究了 pH 值、氧化剂种类和氧化剂含量对材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明：不同氧化剂的抛光液在各自的最佳 pH 值时达到最大的材料去除率,分别为181 nm/min(H 2 O 2抛光液,pH=9),177 nm/min(Cr2 O 3抛光液,pH=11),172 nm/min(Na2 Cr2 O 7抛光液,pH=11)和147 nm/min(NaClO 抛光液,pH=13)；抛光液中氧化剂含量、pH 值对抛光后不锈钢的表面粗糙度影响较小。其中,材料去除率较高的H 2 O 2和Cr2 O 3可作为304不锈钢化学机械抛光碱性抛光液的氧化剂。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏建修	河南科技学院机电学院	43	283	9.0	15.0
2	陈佳鹏	河南科技学院机电学院	3	8	2.0	2.0
3	陈绍坤	驻马店技师学院机械工程系	3	12	2.0	3.0
4	李庆	河南科技学院机电学院	3	13	3.0	3.0
5	秦洪权	河南理工大学机械与动力工程学院	3	13	3.0	3.0