化学机械抛光304不锈钢用抛光液成分研究

• 作者: 刘振辉 彭亚男 李洁静 苏建修 陈绍坤
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 304不锈钢 化学机械抛光 氧化剂 材料去除率 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 页码范围: 78-81,88
• 页数: 5页
• 分类号: TG732|TH162|TN27
• 字数: 2456字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2018.2.0016

摘要

由于304不锈钢的优良特性,未来其将成为柔性显示器衬底的主要材料之一.为提高304不锈钢化学机械抛光的速率和质量,研究不同氧化剂在不同质量浓度或体积浓度及不同 pH 值下,对材料去除率和表面粗糙度的影响.结果表明:氧化剂 Fe2O3、H2O2、FeCl3都在 pH=2时抛光效果最佳,氧化剂KMnO4在pH=10时抛光效果达到最佳.在最佳的 pH 值下进行抛光,H2O2的体积浓度为10 mL/L时,表面粗糙度Ra最好,为4 nm;在FeCl3质量浓度为4.0 g/L时,材料去除率最高,为209 nm/min.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏建修	河南科技学院机电学院	43	283	9.0	15.0
2	刘振辉	河南科技学院机电学院	8	42	3.0	6.0
3	陈绍坤	驻马店技师学院机械工程系	3	12	2.0	3.0
4	彭亚男	河南科技学院机电学院	2	9	2.0	2.0
5	李洁静	河南科技学院机电学院	1	2	1.0	1.0