不锈钢基板化学机械抛光过程温度研究

• 作者: 杨向东 胡伟 谢小柱 郑海凤 魏昕
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 不锈钢基板 化学机械抛光 温度检测
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 20-24
• 页数: 5页
• 分类号: TG73
• 字数: 3494字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2014.2.0005

摘要

鉴于不锈钢化学机械抛光的复杂环境，研究了其抛光过程中温度的变化规律。设计并搭建了过程温度在线检测系统，检测并研究了不同工艺参数与温度之间的关系。实验结果表明：抛光温度随着抛光压力和抛光垫转速的增大而增大，随着抛光液流量的增大而减小。不锈钢基板边缘点抛光温度高于中心点抛光温度，聚氨酯材料比合成革和磨砂革材料的温升更大。当抛光垫加沟槽时，温升将明显下降，且径向型与周向型沟槽温度变化相差不大，网格型沟槽温差变化最小。抛光垫沟槽间距增大，温升增大；沟槽宽度对温升影响较小。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢小柱	广东工业大学机电工程学院	73	422	11.0	16.0
2	胡伟	广东工业大学机电工程学院	57	313	10.0	14.0
3	魏昕	广东工业大学机电工程学院	111	782	15.0	22.0
4	杨向东	广东工业大学机电工程学院	19	72	5.0	8.0
5	郑海凤	广东工业大学机电工程学院	1	11	1.0	1.0