缓蚀剂在镁合金化学机械抛光过程中的作用

• 作者: 倪自丰 卞达 杨大林 赵永武 赵治安
• 来源期刊: 陕西师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 化学机械抛光 缓蚀剂 极化曲线 去除率 粗糙度
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 化学与材料科学
• 页码范围: 48-52
• 页数: 5页
• 分类号: TQ146.22
• 字数: 3434字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15983/j.cnki.jsnu.2015.02.321

摘要

利用碱性体系抛光液研究了十二烷基苯磺酸钠（SDBS）缓蚀剂对镁合金化学机械抛光过程和抛光效果的影响。采用能谱仪 XPS 分析缓蚀剂在镁合金表面形成的膜层成分，并通过腐蚀试验、电化学分析和磨粒粒径测试的手段分析了抛光液中 SDBS 在镁合金化学机械抛光过程中的作用机理。结果表明：当 SDBS 含量为1．0％时，抛光液中 SDBS 可有效抑制镁合金在抛光过程中的腐蚀，缓释效果可达91％。SDBS 与镁合金通过缩合反应生成保护膜，减小抛光后的表面粗糙度以及点蚀的出现，提高表面质量；另外，SDBS 对 Al2 O3抛光磨粒具有一定的吸附作用。当 SDBS 含量为1．0％时，能有效抑制 Al2 O3磨粒团聚，进而对抛光效果产生一定的影响，减少抛光过程中划痕的产生。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	倪自丰	江南大学机械工程学院	52	102	5.0	6.0
2	赵永武	江南大学机械工程学院	117	687	12.0	21.0
3	赵治安	江南大学机械工程学院	10	33	4.0	4.0
4	杨大林	江南大学机械工程学院	8	25	3.0	4.0
5	卞达	江南大学机械工程学院	22	33	4.0	4.0