软轴单晶炉晶体生长的固有干扰因素分析

• 作者: 张志坚 池蓉 罗凤灵
• 来源期刊: 云南冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶 软轴单晶炉 固有干扰
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 金属材料与加工
• 页码范围: 65-71
• 页数: 7页
• 分类号: TF063
• 字数: 7140字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0308.2019.05.015

摘要

随着半导体产业技术发展,提高单晶材料生长的成晶率和晶体内在品质越来越重要.国内目前普遍采用软轴单晶炉进行锗、硅单晶棒生产,软轴单晶炉相对硬轴单晶炉具有结构紧凑,运行可靠、设备成本低等的优点,但是软轴单晶炉由于软轴系统类似于单摆和弹簧振子的结构特点,容易产生固有共振干扰,存在对晶体品质不利的影响因素.对这些干扰因素、解决措施进行了简要分析和讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志坚		1	0	0.0	0.0
2	池蓉		1	0	0.0	0.0
3	罗凤灵		1	0	0.0	0.0