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摘要:
多晶硅是一种高纯度的硅材料,在电子生产领域有着广泛的应用.随着近年来电子产业的发展,以及移动通讯5G时代即将来临,无疑会对于电子产品产生更加丰富的应用需求,将对多晶硅等原材料的生产提出更高的要求.所以,该文以多晶硅质量作为探讨的核心,以改良西门子法的具体应用,探讨加强多晶硅生产质量的方式,以期能够为相关领域提供些许理论借鉴.
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文献信息
篇名 多晶硅生产中的质量控制探讨
来源期刊 有色金属设计 学科 化学
关键词 多晶硅 改良西门子法 生产质量
年,卷(期) 2019,(2) 所属期刊栏目 冶化
研究方向 页码范围 61-63
页数 3页 分类号 O657.3
字数 2871字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-2660.2019.02.015
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作者信息
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1 苟海龙 2 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
多晶硅
改良西门子法
生产质量
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
有色金属设计
季刊
1004-2660
53-1060/TG
16开
昆明市白塔路208号
1974
chi
出版文献量(篇)
1841
总下载数(次)
9
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