高重复频率准分子激光器中放电冲击波特性的实验研究

• 作者: 丁金滨 刘斌 周翊 江锐 王宇 王魁波
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 准分子激光器 高重复频率 放电腔 放电冲击波 阴影法
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 激光器件与激光物理
• 页码范围: 18-25
• 页数: 8页
• 分类号: TN248.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.1201001

摘要

采用阴影法对高重复频率准分子激光器放电腔内的放电冲击波现象进行了实验研究,研究结果揭示了放电冲击波的产生以及演化过程.通过对观测结果进行分析,获得了放电冲击波的3种典型形式:横向冲击波、纵向冲击波(主电极冲击波)和预电离冲击波.估算了3种冲击波的波速,进而分析了可会受冲击波影响的重复频率.研究成果可以为高重复频率准分子放电腔的设计提供支持,尤其是可以在放电冲击波抑制结构的设计方面提供支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宇	中国科学院微电子研究所	211	1906	23.0	32.0
2	刘斌	中国科学院微电子研究所	230	3876	32.0	56.0
3	周翊	中国科学院微电子研究所	19	49	4.0	6.0
4	王魁波	中国科学院微电子研究所	11	20	3.0	4.0
5	丁金滨	中国科学院微电子研究所	2	2	1.0	1.0
6	江锐	中国科学院微电子研究所	1	0	0.0	0.0