采用恒频参量激励的微机械陀螺驱动控制方案

• 作者: 吴海斌 林一羽 郑旭东 金仲和 马志鹏
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 交通运输
• 关键词: 微机械(MEMS)陀螺 驱动控制方案 参量激励 恒谐振频率驱动 三角形栅极电容
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 通信技术、电气工程
• 页码范围: 1795-1804
• 页数: 10页
• 分类号: U666.12
• 字数: 6551字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2019.09.019

摘要

提出一种基于恒定谐振频率和参量激励的微机械(MEMS)陀螺驱动控制方案.该方案利用三角形栅极电容实现,使得陀螺驱动谐振频率和品质因子在环境波动下保持恒定,改善陀螺的温度敏感性.介绍基于三角形栅极电容的频率调谐和参量激励理论,提出并实现新型恒定谐振频率和参量激励驱动方案.仿真结果表明,对陀螺驱动模态的实时调谐使得谐振频率恒定;参量激励实现了对驱动模态的稳幅控制.实验结果表明,该方案测得的陀螺的Allan方差偏置不稳定性为1.69°/h,优于传统方案;降温过程中零偏温漂相比传统方案减小了50％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学微小卫星研究中心	144	1047	18.0	25.0
2	郑旭东	浙江大学微小卫星研究中心	7	48	3.0	6.0
3	马志鹏	浙江大学微小卫星研究中心	2	4	1.0	2.0
4	林一羽	浙江大学微小卫星研究中心	1	1	1.0	1.0
5	吴海斌	浙江大学微小卫星研究中心	1	1	1.0	1.0