产生大面积均匀面电子源的电子枪设计

• 作者: 余洋 刘术林 杨玉真 林焱剑 温凯乐 王玉漫 闫保军 顾运厅
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微通道板 电子枪 电子清刷 热电子发射 直流增益测试
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 1109-1113
• 页数: 5页
• 分类号: O462.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.12.11

摘要

为了满足大尺寸微通道板(MCP)的性能测试和电子清刷除气处理,设计了一种电子枪,可以产生尺寸大、均匀性好、动态范围宽的平面电子源.该电子枪采用功函数较低的钽丝,加工成盘香式结构,通过外加电场,使得出射后打到微通道板输入面上的电子源束流密度可调、均匀性优于90％,12h内的稳定性优于±0.1 μA,动态范围达到7个数量级(10-12～ 10-5A),可以实现对直径为50 mm的微通道板进行精确测试和严格的电子清刷处理,也可以应用于其它领域.