一种线阵CCD融合光栅尺的高精度尺寸测量新方法研究

• 作者: 同志学 康智强 白金池
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 神经网络 畸变矫正 光栅尺 亚像素尺寸检测
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 275-281
• 页数: 7页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文

摘要

为了解决数字图像亚像素级高精度尺寸检测问题,采用了基于人工神经网络的线阵相机镜头畸变矫正方法,比传统的多项式拟合法矫正精度高且操作简便;提出了将光栅尺融入线阵相机扫描机构的新方法,利用高精度光栅尺测位移信号触发线阵CCD图像采集动作,精确获取线阵相机扫描目标的亚像素级图像.实验证明,新的测量技术可在对运动系统要求不高的情况下获取高精度图像,图像检测精度可以达到1μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康智强	西安建筑科技大学机电工程学院	7	18	3.0	3.0
4	同志学	西安建筑科技大学机电工程学院	30	111	5.0	9.0
8	白金池	西安建筑科技大学机电工程学院	1	2	1.0	1.0