真空泵微小抽速测试方法研究进展与分析

• 作者: 任正宜 吴成耀 张世伟 成永军 李海涛 郭美如
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空泵 微小抽速 测试方法 研究进展
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 1054-1060
• 页数: 7页
• 分类号: T19
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.12.02

摘要

基于真空泵发展的实际需求,本文对真空泵微小抽速测试方法的研究现状与进展进行全面论述.首先,从三种常用的测试方法(流量计法、定容法和动态流导法)具体展开.通过回顾国内外学者的典型应用案例,分别介绍其测试原理与特点;接下来,讨论微小抽速的测试方法的难点及其应对策略,并对这几种测试方法进行对比分析,最后,就不同压力条件与测试方法的选用关系给出建议.同时,本文也提出未来可在真空泵极小抽速(＜ 10-5 m3/s)的精确测试和拓展测试气体的种类两方面开展进一步研究,以推动真空计量基础科研的跨越式发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张世伟	东北大学机械工程与自动化学院	68	567	14.0	19.0
2	李海涛	东北大学机械工程与自动化学院	7	16	2.0	4.0
4	郭美如		5	11	2.0	3.0
5	成永军		34	75	6.0	7.0
8	任正宜		1	1	1.0	1.0
9	吴成耀		3	1	1.0	1.0