长波碲镉汞探测器的原位集成微透镜技术研究

• 作者: 刘世光 吴卿 张敏 张轶 李春领 牛峻峰 王成刚 谭振
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 碲镉汞 长波 微透镜 原位集成
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 红外材料与器件
• 页码范围: 1228-1233
• 页数: 6页
• 分类号: TN214
• 字数: 2324字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2019.10.014

摘要

采取原位集成的方式在红外焦平面探测器芯片的入光侧制备微透镜阵列以达到增强信号以及减小串音的作用,通过光学分析获得了匹配不同中心距器件的微透镜结构设计,在长波碲镉汞320×256,50μm和30μm中心距的探测器上验证了原位集成的微透镜阵列能够有效地通过汇聚光线,使信号增强分别达到28％和61％.对于超高灵敏度红外探测以及SWaP和超大规模红外探测器研究具有重大意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭振		13	15	3.0	3.0
2	李春领		13	9	1.0	2.0
3	王成刚		17	60	4.0	7.0
4	吴卿		13	6	1.0	2.0
5	张轶		3	0	0.0	0.0
6	刘世光		4	0	0.0	0.0
7	牛峻峰		1	0	0.0	0.0
8	张敏		8	3	1.0	1.0